半導体業界用
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型式：L40
お客様の事業別：半導体
用途別：流体制御
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压力
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-100kPa～1MPa
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回転数
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～600min-1（～3000min-1は別途ご相談下さい）
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流体
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エアー、真空、純水、スラリー(別途ご相談)、薬液(別途ご相談)
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◎特徴
★シングルポート（1ポート）タイプのロータリージョイントです。
★内部接液部に非金属材料を使用し、通過流体中への金属イオンの溶出を極力押さえています。
★また、耐薬品性にも優れています。
※オーダーメイド製品です。お客様の仕様をお知らせ下さい。
