半導体業界用
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型式:MFES型

お客様の事業別:半導体

用途別:流体制御


压力 -100kPa~1MPa
回転数 ~200min-1(仕様により異なります)
流体 エアー、真空、純水、スラリー(別途ご相談)、薬液(別途ご相談)

◎特徴

・マルチポート(多ポート)タイプのロータリージョイントです。

・接液部に、非金属材料の使用や、コーティングを施し、通過流体中への金属イオンの溶出を極力押さえる構造も可能です。

※オーダーメイド製品です。お客様の仕様をお知らせ下さい。