型号:MFC型
应用领域:半导体
用途:流体控制(阀)
流体 | 真空及气体 | 液压油 |
压力 | -100kPa~0.5MPa | ~21MPa |
旋转数 | ~3000min-1 | ~1000min-1 |
特征
采用非接触密封,无因磨损引起的密封使用寿命减少现象。
使用非接触密封,具有低发热,灰尘沉积少的特点。
最适用于气体先导式真空卡盘,执行器。此外,也可被用于追求低污染的视频界的填充机和太阳、燃料电池的各种制造工程上。
对于追求高稳定性/维修不受制约的风力发电行业和追求高速旋转/长寿命的钢铁界的的铁板卷曲装置最适合。